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高密度钼靶材生产流程
高密度钼靶材生产流程如下所示：等静压成型-中频炉烧结-轧机轧制-机加工处理-检测-成品。通过该生产工艺制得的钼靶材内部结构的均匀性和晶粒尺寸、纯度和表面尺寸能够满足越来越高的溅射工艺需求。
高密度钼靶材生产流程:
1.选取优质的钼粉，采用等静压工艺进行第一次致密化处理，形成钼靶材坯料；
2.将钼靶材坯料放置于包套中，并抽真空；
3.采用冷等静压工艺将包套内的钼靶材坯料进行第二次致密化处理；
4.经过第二次致密化处理后，去除包套，采用感应烧结工艺将经过第二次致密化处理的钼靶材坯料进行第三次致密化处理，形成第三次钼靶材坯料；
5.第三次致密化处理后，采用热轧工艺将第三钼靶材坯料进行轧制，形成第四钼靶材坯料；
6.经过热轧工艺后，对第四钼靶材坯料进行退火处理形成钼靶材。
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