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고밀도 몰리브덴 타겟 제조 공정
다음과 같이 고밀도 몰리브덴 목표 생산 프로세스는 다음과 같습니다 등방 가압 - 소결로 MF - 롤링 - 기계 가공 - 탐지 - 완성. 균일 성 및 입자 크기에 의해, 제조 공정의 순도면 치수는 스퍼터링 공정에 대한 더욱 높은 요구를 만족하기 위해 몰리브덴 타겟 내부 구성을 얻었다.
고밀도 몰리브덴 타겟 제조 방법 :
1. 품질 몰리브덴 분말, 처음 HIP 조밀화 프로세스를 이용하여, 몰리브덴 타겟 블랭크의 형성;
2. 슬리브에 넣고, 진공 몰리브덴 타겟 블랭크 패키지;
두 번째 치밀화 과정 3. 냉간 등방 가압 재킷 몰리브덴 대상 패킷 빈;
4. 제 고밀도화 과정 후에 넣음 유도 소결 공정의 제거는 제 3 시간 조밀화 프로세스 제 고밀도화 공정 몰리브덴 타겟 스톡을 실시한다 빈 셋째 몰리브덴 타겟의 형성;
몰리브덴 타겟 블랭크의 제 열간 압연 프로세스를 통해 5 번째 치밀화 공정은 네 번째 빈 몰리브덴 타겟을 형성하는 압연;
6. 열간 압연 공정 후, 비어 형성 네번째 몰리브덴 타겟 몰리브덴 타겟을 어닐링된다.
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